镀膜技术日新月异。对于镀膜工程师来说,根据不同的镀膜工艺选择最好的晶振片并不容易。以下建议供您参考:
1)镀低应力膜料时,选择镀金晶振片
挺常见的镀膜是镀Al、Au、Ag、Cu,这些膜层几乎没有应力,在室温下镀膜即可。膜层较软,易划伤,但不会裂开或对基底产生负作用。建议使用镀金晶振片用于上述镀膜,经验证明,可以在镀金晶振片镀60000埃金和50000埃银的厚度。
2)使用镀银或银铝合金镀高应力膜层
Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢这些材料容易产生高应力,膜层容易从晶体基板上剥落或开裂,导致速率突然跳跃或一系列速率突然不规则的正负变化。有时,这些情况是可以容忍的,但在某些情况下,它们对蒸发源的功率控制有不良影响。
3)使用银铝合金晶振片镀介质光学膜
MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光学透明区域或折射率特性,广泛应用于光学涂层,但这些薄膜材料也很难监测。只有当基底温度大于200度时,这些薄膜才会与基底有很好的结合力。因此,当这些薄膜涂在水冷基底晶振片上时,在膜凝结过程中会产生巨大的应力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。
这时候,选择合金晶体振荡器将是一个很好的选择,这将大大降低调频机会。实验室显示,使用合金晶体振荡器监测氟化镁的有效寿命比镀金长100%。如果冷却水温度从20度提高到50度,晶体振荡器的使用寿命可以延长一倍。
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