INFICON半导体传感器采用残余气体分析、光发射光谱测量、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计、射频测量等一系列工艺传感技术。

随着半导体技术的不断进步，市场对芯片的需求不断增加，了解气体和等离子体如何与周围环境相互作用比以往任何时候都更重要。INFICON是您的较好选择，无论是在加工过程中测量，以确保产品的安全和质量，还是在腔室清洁或工具维护过程中测量，以尽量减少停机时间，还是监控减排系统以减少温室气体的排放。INFICON提供各种类型的传感器，您可以根据具体的应用场景进行定制。

INFICON传感器适用于全半导体制造周期。支持早期研发、前期工艺/后期工艺生产、subfab及全厂设施性能，准确测量气体成分。应用范围涵盖后端洁净室模具分拣和组装，从而提高过程控制效率和生产力，实现高质量、可靠制造，以及最大生产力和高效率的运行。

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